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等離子水洗設備

產品概述

半導體、顯示面板擴散、刻蝕、CVD 工序產生CF?、NF?PFCs 全氟化合物,性質穩定、傳統工藝難降解。天得一等離子水洗設備(Plasma Wet Scrubber),采用等離子分解 + 濕法洗滌兩段式工藝,通過 DBD / 電弧放電打斷 C?F 鍵,徹底降解污染物,再經洗滌塔深度凈化,反應溫度 1500?3000℃,凈化效率 99.9% 以上,可兼容電熱水洗處理的各類廢氣。

產品特點

1. 安全穩定:采用自動化控制,進行溫度、壓力、流量、液位等監測,聯動擴撒、調溫、降溫、報警、停機等多重安全聯鎖,確保全程受控;
2. 高效凈化:高能電子轟擊結合自由基氧化,徹底破壞分子結構,凈化效率可高達99.9%以上;
3. 適用性:可處理電熱水洗設備無法有效處理的極高穩定性氣體(如PFCs);
4. 耐腐蝕:采用強化防腐設計,具有優良的耐腐蝕性能;
5. 智控孿生賦能:融合數字孿生與集中智制優勢,通過感知矩陣、多維交互、場景化智控等技術,實現設備全生命周期深度賦能。

技術參數

序號

型號

配電功率

處理流量

處理效率

1

TDY-PWS-600S

15kw

500-800slm

99.9%

2

TDY-PWS-1500S

20kw

800-2000slm

99.9%

3

TDY-PWS-3000S

30kw

2000-4000slm

99.9%

應用領域

適用于半導體與顯示面板制造的擴散、刻蝕、化學氣相沉積等核心工序中,產生CF?、NF?等全氟化合物(PFCs)廢氣治理。

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