天域半導體碳化硅外延廢氣凈化實踐案例

天域半導體是國內半導體行業知名的碳化硅外延片制造商。在其生產過程中，外延檢修、清洗、供應間等環節產生的廢氣成分復雜，治理難度大。天得一環境科技針對其廢氣特性量身定制治理方案，實現廢氣高效凈化、穩定達標排放。

一、客戶背景

天域半導體專注于碳化硅（SiC）外延片的研發、生產與銷售，是第三代半導體材料領域的核心企業，產品廣泛應用于新能源汽車、光伏逆變、智能電網等領域。隨著產能擴大，廢氣排放治理成為企業環保合規的重要課題。作為行業代表性企業，天域半導體對環保治理提出了達標、穩定、低耗能、不影響生產的高要求。

二、廢氣來源與成分

天域半導體生產過程中的廢氣主要來自三個環節：外延檢修、設備清洗、特種氣體供應間。

• 有機廢氣：非甲烴總烴（NMHC）——揮發性有機化合物，單一工藝難以穩定達標
• 酸霧廢氣：鹽酸霧、氯氟酸霧、氫氟酸霧等——具強腐蝕性，需專門耐酸腐材質
• 氨氣：具刺激性氣味，與酸霧混合后治理復雜

這些廢氣成分復雜，既有有機物又有無機酸堿，必須采用組合治理方案才能兼顧。

三、治理方案思路

針對廢氣成分復雜、排放波動大的特點，天得一設計了“預處理 + 酸堿塔吸收 + 兩級活性炭深度吸附”的組合治理工藝：

• 預處理：氣液分離、降溫、均流，保護后續深度處理設備穩定運行
• 酸堿塔：堿塔吸收酸霧，酸塔吸收氨氣，實現酸堿分區治理，避免中和反應產生結垢
• 兩級活性炭：一級主吸附非甲烴總烴，二級安保層確保達標，雙塔可靈活調節延長壽命

具體工藝參數、設備選型及定制化設計細節，歡迎聯系天得一技術團隊進行詳細交流。

四、方案亮點

• ① 組合工藝，全面覆蓋：酸堿塔處理無機酸堿廢氣，活性炭處理有機廢氣，各單元協同互補，全面覆蓋復雜成分。
• ② 兩級保障，穩定達標：一級吸附 + 二級安保，前級飽和時二級仍能確保達標，為半導體連續生產提供可靠保障。
• ③ 自動化運行，低運維成本：PLC自動控制，實時監測運行參數，無人值守，與生產線自動化系統無縫對接。

五、治理效果

經運行驗證，各項污染物排放濃度均穩定達標，系統運行穩定、維護便利，滿足半導體生產線連續運轉需求。

六、行業價值

半導體行業是國民經濟戰略性產業，其廢氣成分復雜、治理難度大。本案例的成功實施，為半導體行業廢氣治理提供了可復制的技術路徑。隨著第三代半導體產業快速發展，碳化硅、氮化鎵等產能持續擴張，相應的廢氣治理需求也將同步增長。

關于天得一

深圳市天得一環境科技有限公司深耕工業廢氣治理領域20年，在半導體、元器件、化工、電鍍、涂裝等多個行業積累了豐富的治理經驗，致力于為客戶提供“氣液固能協同治理”的綜合解決方案。